「カーボゼン」ハイブリッドPVDシステム

特徴

リニアイオンソース・UBMスパッター・FCVAソースの適切な組み合わせを通じ
ユーザーニーズに応える複合コーティング膜を成膜
装置とオペレーターの為の安全ロック機能
MS Windowｓ OSベースのソフトウェア・プログラムで簡単に半自動または
全自動で工程制御可能
コーティング工程中の作業内容自動記録機能
コーティングの全過程をデータ化
優れた密着性
低装置価格・低ランニングコスト