CARBOZEN Hybrid PVD System

特征

通过磁离子源、UBM喷溅、FCVA源的适当组合，制成满足用户需求的复合涂层
设备和为操作员考虑的安全锁功能
使用基于MS Windows OS的软件程序,可以简单地进行半自动或全自动的工序控制
涂层工序中作业内容的自动记录功能
将涂层的整个过程数据化
优异的密合性
装置价格低、运行成本低