薄膜分析測定器

スクラッチテスター
母材に対するコーティング薄膜の付着力を定量的に測定し、薄膜の破損に対する予測とコーティング部品の品質管理が可能
ハードコーティング薄膜・めっき膜・ディスプレイパネルの付着強度測定
トライボメーター
ボール・オン・ディスク方式でボールに荷重を付加してディスクを回転させる時、ボールの支持台に付着させたロードセルを通じて摩耗の深さを測定し、摩耗量を計算
PC制御によるデータの収集及び分析機能
ストレステスター
薄膜が圧縮応力または引張応力を持っている場合、基板/薄膜の複合体の変形された曲率を測定して薄膜の残留応力を測定
曲率はステージ上の試験から反射されたレーザービームの反射角度を測定し計算